真空爐石墨發(fā)熱體是高溫加熱設(shè)備的中心元件,選用超高純度石墨基材(純度99.90%-99.99%)經(jīng)精密加工與特別處理制成。其仰仗優(yōu)異的導(dǎo)電導(dǎo)熱性、耐高溫性和熱場均勻性,能在真空、惰性氣體或恢復(fù)性氣氛中穩(wěn)定輸出高溫(最高可達3000℃),且發(fā)熱效率比金屬發(fā)熱體高30%以上。相較于硅鉬棒、電阻絲等傳統(tǒng)發(fā)熱元件,真空爐石墨發(fā)熱體具有壽命長、升溫速率快、適配多種爐型等優(yōu)勢,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體annealing、航空航天材料燒結(jié)、高溫實驗研討等高端范疇。
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