真空爐石墨爐床板下降外表粗糙度的方法首要包括以下幾個(gè)步驟:
一、原資料挑選與質(zhì)量操控
挑選高純度石墨:保證石墨原資料的顆粒巨細(xì)均勻、純度滿足,防止含有過(guò)多雜質(zhì),這是下降外表粗糙度的根底。
原資料檢測(cè):在加工前,對(duì)石墨原資料進(jìn)行嚴(yán)格的檢測(cè),保證其質(zhì)量符合加工要求。
二、加工工藝優(yōu)化
合理設(shè)置加工參數(shù):
切削速度:挑選合適的切削速度,防止過(guò)低或過(guò)高導(dǎo)致外表粗糙度增加。
進(jìn)給量:操控進(jìn)給量的巨細(xì),一般情況下,進(jìn)給量越小,外表粗糙度越小。
刀具挑選:選用導(dǎo)熱功能好、化學(xué)功能穩(wěn)定的刀具,防止因刀具與被加工資料發(fā)生親和效果而導(dǎo)致外表粗糙度過(guò)大。
選用精加工技術(shù):
拋光:運(yùn)用精密的拋光設(shè)備和磨料,對(duì)石墨爐床板進(jìn)行拋光處理,以去除加工過(guò)程中發(fā)生的微小劃痕和不平坦。
磨削:經(jīng)過(guò)磨削工藝進(jìn)一步進(jìn)步石墨爐床板的外表質(zhì)量,到達(dá)所需的精度和光潔度。
三、涂層處理
涂覆熱解石墨或熱解氮化硼涂層:
經(jīng)過(guò)化學(xué)氣相堆積(CVD)技術(shù)在石墨爐床板外表堆積一層熱解石墨或熱解氮化硼涂層。
這種涂層不只能夠防止石墨粉塵揮發(fā)出來(lái)污染反應(yīng)腔室,進(jìn)步產(chǎn)品的純凈度,還能夠保護(hù)石墨爐床板,延長(zhǎng)其運(yùn)用壽命。
同時(shí),涂層本身具有較低的外表粗糙度,能夠進(jìn)一步提升石墨爐床板的外表質(zhì)量。
四、存儲(chǔ)與保護(hù)
存儲(chǔ)環(huán)境操控:將石墨爐床板存放在干燥、通風(fēng)、無(wú)污染的環(huán)境中,防止?jié)駶?rùn)、高溫或污染對(duì)其外表造成不良影響。
防氧化處理:在石墨爐床板外表涂覆防氧化劑,推遲其氧化速度,堅(jiān)持外表光潔度。
綜上所述,經(jīng)過(guò)原資料挑選與質(zhì)量操控、加工工藝優(yōu)化、涂層處理以及存儲(chǔ)與保護(hù)等多方面的措施,能夠有效地下降真空爐石墨爐床板的外表粗糙度,進(jìn)步其外表質(zhì)量和功能。